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       真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。  　　
       不銹鋼是目前超高真空系統的主要結構材料。其中300系列不銹鋼是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270～900℃工作等優點，在高真空和超高真空系統中，應用廣泛。      　　
       近年來，為了降低真空腔體的制作成本，采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。另外，采用鈦合金來制作特殊用途真空腔體的例子也不少。
       為了減小腔體內壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體，主要是利用電解拋光來進行表面處理。