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       真空腔體檢漏主要有三種：氦質(zhì)譜檢漏，真空封泥檢測法，真空計檢漏法。下面具體介紹一下氦質(zhì)譜檢漏法。

       氦質(zhì)譜檢漏是一項很重要的技能，因檢漏效率高，操作簡單，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不容易受到其他氣體干擾，在真空腔體檢漏中得到了很多應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。

       由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，在洛倫茲力的作用下偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而形成了圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測到。其中，噴氦法和吸氦法是真空腔體氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種方法。