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13771502818 18762620800真空腔體的概述
2019/06/17
這種真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數而研發的，而晶圓容量不變。這種結構采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產品的特點是機臺定位的靜態、動態響應，抽氣時間、穩...+ More
真空腔體烘烤
2019/06/04
觀察真空腔體烘烤時的真空度變化結果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當真空度達到約10-3Pa時，開始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進行長時間烘烤。烘烤過程中關閉離子泵，同時...+ More
真空腔體的制作
2019/06/04
焊接是真空腔體制作中重要的環節之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應從而影響焊接質量，通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣，以防止熔...+ More
真空腔體的制作材料
2019/06/04
真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統的主要結構材料。其中300系列不銹鋼是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優良的抗腐...+ More
真空閥門注脂時的注意事項
2019/05/11
真空閥門注脂時常常忽視注脂量多少的問題，注脂槍加油后，操作人員選擇閥門的和注脂聯接方式后，進行注脂作業。存在著兩種情況：一方面注脂量少導致注脂不足，密封面因缺少潤滑劑而加快磨損。另...+ More
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